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谐振式传感器因输出为频率信号而具有高精度、高分辨率、高抗干扰能力、适于长距离传输、能直接与数字设备相连接的优点；又因无活动部件而具有高稳定性和高可靠性，并可能制造出精度极高的传感器(目前可以做到精度超过万分之一)。它的缺点是，要求材料质量较高，加工工艺复杂，所以生产周期长，成本较高；另外，其输出频率与被测量往往是非线性关系，需进行线性化处理才能保证良好的精度。
由于谐振式传感器有许多优点，已迅速发展成为一个新的传感器家族，可用于多种参数的测量，例如压力、位移、加速度、扭矩、密度、液位等。谐振式传感器主要用于航空、航天、计量、气象、地质、石油等行业中。

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